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它的特点主要有： 1、泵腔内有可旋转的转子，转子的四周带有沟槽并用挡板隔开。每一个沟槽就相当于一个单级分子真空泵，后一级的入口与前一级的出口相连。 2、转子与泵壳之间有 的间隙，气体分子由入口进入泵腔，被转子携带到出口侧，经排气管道由前级泵抽走。 3、分子真空泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。 

它的不足：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。曾一度被结构和制造简单，抽速大的扩散泵所代替。分子泵报价, 涡轮分子泵主要分为立式和卧式两种。卧式涡轮分子泵，这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。

立式涡轮分子泵，泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在 lmm 左右，因此泵工作时很安全。接下来主要介绍这两种涡轮分子泵特点： 1、清洁，无油蒸汽返流； 2、使用方便； 3气体输送能力强； 4、适于超高真空应用； 5、高压力下性能良好； 6、循环的时间短；； 7、正常使用时间长； 8、设备费用高；9、对颗粒物或沉积物敏感； 10、噪音与振动； 11、破碎问题； 12、暴露大气易引起事故；

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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分子泵使用过程出现的问题8总体安装注意事项

①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。②、打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。④、确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。⑤、确认已装入润滑油。⑥、安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度

是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的，另外掉进去的东西不一定要多大，但如果硬度够了一样会造成伤害，轻则造成叶片边缘被打成锯齿状，重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装，避免异物掉入。电压的不稳定，特别对磁浮类的分子泵损伤较大。前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出，真空达到一定程度分子泵才会启动。

如果前级泵的效率差，分子泵就会比较吃力，启动速度慢，抽气时间长，电流高，分子泵温度升高等。⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好，这是技术的关键，动平衡差，振动就大，抽气效率就差，也容易造成轴承部分的过度磨损。⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承，效果和尺寸不标准等。

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“该系列涡轮分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力级别中结构紧凑的大功率涡轮分子泵，针对小分子气体具有的抽吸能力。”真空涡轮分子泵产品经理说道。内置的驱动电子设备在不增加体积尺寸的情况下，提供了包括ProfiNet和EtherCat在内的大量通讯接口。通过遥控和传感器元件可以对泵数据进行分析，实现在运行过程中进行理想的工艺监控。

它的运行噪音低，气体流量大，为真空行业树立了新的标准。该系列的各款泵均已获得SemiS2、UL、CSA和Nema12认证。此外，该系列各款泵均可以在客户现场进行轴承维护和轴承更换，并且均可免维护运行4年。磁场环境对分子泵运行的影响:许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI（）的磁场强度甚至会高达3T；

尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。磁场对涡轮分子泵的可能影响当涡轮分子泵的转子在磁场中旋转时，会产生涡流。这些电流倾向于阻碍转子的旋转，并导致电机的功率增大。由于泵转子不与定子接触，涡生的热量和额外的功率主要通过辐射消散。因此，转子可能会过热，即使泵体及其它静止的部件仍然是冷的。

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